超重力於SEMICON Taiwan展出三項環保設備，涵蓋製程廢氣、含氨氮廢水及化學品回收，以「效率高、體積小、能耗低」回應晶圓廠空間有限、處理需求增加的挑戰，半導體擴產不僅考驗製程技術，也牽動廠務污染處理與資源利用能力。

超重力此次展出三大綠色新品

首項「高效廢氣脫酸鹼除塵裝置」，主要處理製程排氣中的酸、鹼氣體與PM2.5等粒狀污染物。該設備曾與半導體客戶合作開發，實際處理成效較傳統設備提升，目前已有新建廠規劃導入。二、「一體化廢水脫氨裝置」，鎖定製程產生的含氨氮廢水。傳統流程須分別設置氨氮吹脫與氨氣吸收設備，占地較大，也增加管線配置需求。超重力將兩道程序整合於單一裝置，減少設備數量，降低廠務配置與系統整合負擔。三、「新型精餾裝置」，利用不同物質的沸點差異進行分離與純化，提高化學品純度及再利用率。新型裝置進一步縮小體積並降低能耗，在維持純化效率的同時促進資源循環，目前已有實際導入案例。

突破空間限制　提升廠務處理效能

超重力創始人陳奕宏博士表示，面對廠房占地與樓高限制，污染處理需求難以單靠增設大型設備滿足。三項新品透過強化處理效率、整合程序及縮小體積，協助晶圓廠提高有限空間的利用效益，並依不同處理需求減少管線配置或能源消耗，讓廠務系統跟上產能擴充腳步。

隨著AI、高效運算與先進封裝推動新一波擴產，污染處理能力與資源使用效率，也將牽動下一世代晶圓廠的建置與營運。超重力以三項新品串聯廢氣淨化、廢水處理及化學品回收，回應擴產背後不可忽視的廠務需求。當半導體競爭延伸至能源效率與環境績效，具備設備小型化及資源循環技術的超重力，將是支撐產業永續升級、值得關注的重要角色。

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